中圖儀器SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,，具有高精度、高分辨率,、快速測量等優(yōu)點,。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

動態(tài)測量概述

SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組,、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測,。

動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅與頻率分析等,。

位移-時間曲線

速度-時間曲線

加速度-時間曲線

振幅-頻率曲線

動態(tài)測量應(yīng)用

1、基于時間的動態(tài)測量

機(jī)器運動控制性能評價：

(1)運動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

(2)動后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評價

(3)能運動控制器的微小步幅的測試

振動監(jiān)視

(1)掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

(2)機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速,、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工

振動頻率分析

(1)被測對象的振動頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動態(tài)測量

基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量,，即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

3,、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵,、編碼器、控制器等信號,，配合SJ6000激光干涉儀,，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下,，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀集光、機(jī),、電,、計算機(jī)等技術(shù)于一體，其非接觸式,、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,，減少維護(hù)成本和停機(jī)時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式,。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

測量軟件

（1）友好的人機(jī)界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文,、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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